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什么是無油真空泵,它主要用在哪些地方?

更新時間:2020-10-26   點擊次數(shù):1716次
  無油真空泵 ( 以下簡稱干式機(jī)械泵 ) 是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式機(jī)械真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。
 
  目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題:
 
  一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。
 
  其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。
 
  對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能*解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的無油真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。
 
  無油真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
 
  1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
 
  2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
 
  3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的真空泵可以滿足要求;
 
  4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用無油真空泵;
 
  5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。

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